碳化硅生产设备及设施

产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽

2022年12月15日· 环球晶董事长徐秀兰也在6月21日举办的股东会上表示，环球晶决定新增制造设备项目，规划自行设计生产碳化硅长晶炉设备，以强化产品的可控因素。徐秀兰还半导体工程师 11:15 发表于北京在整个碳化硅的生产流程里，晶圆衬底的长晶和外延，以及前道制造过程当中都有一些专用的设备。不过我很少看到有人把这些供应商全球碳化硅（SiC）用设备供应商列表半导体工程师

纬湃科技和安森美签署碳化硅（SiC）长期供应协议

2023年6月1日· 这些设备将用于生产碳化硅晶圆，以支持纬湃科技不断增长的业务需求。同时，作为智能电源和智能感知技术的领导者，安森美将继续大量投资于端2023年6月4日· 碳化硅功率器件的未来趋势是朝着尺寸缩小的方向发展。 5月17日，深圳市森国科科技股份有限公司董事长杨承围绕碳化硅功率器件、碳化硅器件的未来应用做了碳化硅功率器件的应用机会及未来电子工程专辑

首片国产 6 英寸碳化硅晶圆发布，有哪些工艺设备

2020年10月21日· 碳化硅材料及器件可分以下几个阶段晶体生长及晶体加工、芯片制造和芯片封装以碳化硅MOSFET工艺为例，整线关键工艺设备共22种。 1碳化硅晶体生长及加工关键设备主要包括: 碳化硅粉料合成设01 已有产线（排名不分先后）泰科天润泰科天润总部坐落于北京，在北京和湖南分别拥有4英寸和6英寸碳化硅半导体工艺晶圆生产线。据泰科天润近日发布消息，目前生产线已本土超20条碳化硅晶圆产线大盘点！知乎专栏

碳化硅产品的应用方向和生产过程知乎

本文主要介绍碳化硅产品的应用方向和生产过程。应用方向车载领域，功率器件主要用在DCDC、OBC、电机逆变器、电动空调逆变器、无线充电等需要AC/DC快速转换的部件2023年5月25日· 项目名称：碳化硅功率器件的研发和产业化项目实施主体：广微集成技术（深圳）有限公司项目总投资：39,82400 万元本项目拟通过与晶圆代工厂共同投入碳化硅功率器件的研发和产业化项目可行性研究报告

中国国际粉末冶金、硬质合金与先进陶瓷展览会第二

2023年6月2日· 据销售经理吕小明介绍，饶稷科技专注于各类先进陶瓷增材制造装备、材料和产品智能设计的研发和应用，目前已掌握全种类先进陶瓷的增材制造核心工艺和材料2021年7月21日· 碳化硅是卫星通信、高压输变电、轨道交通、电动汽车、通信基站等重要领域的核心材料，尤其是在航天、国防等领域有着不可替代的作用。据中金企信国际咨询发布，目前我国在5G通信、电动汽车等新兴产业的技术水平、产业化规模等方面都处于国际优势地位，将促进我国上游半导体行业的持续发展，进一步提高国内半导体企业在国际市场碳化硅，第三代半导体时代的中国机会新华网

碳化硅产业链深度解析（全网最全独家）碳化硅产业

碳化硅的整个产业链：高纯碳粉/硅粉——碳化硅粉——碳化硅晶锭——碳化硅晶棒——碳化硅晶片——碳化硅衬底——外延——器件设计——器件制造。如果只看碳化硅衬底——外延——器件设计——器件制造这一阶段，碳化硅衬底占比47%，外延占比23%，器件设计+器件制造占比30%。下图只是用作参考，如今最为完整的布局和规划见下文的详解：碳化硅2022年12月15日· 在研磨工艺后的清洗环节，国内半导体清洗设备龙头盛美上海7月份推出了新型化学机械研磨后（PostCMP）清洗设备，该设备用于制造高质量衬底化学机械研磨（CMP）工艺之后的清洗，6英寸和8英寸的配置适用于碳化硅（SiC）衬底制造，8英寸和12英寸配置适用于硅片制造。产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽

碳化硅设备行业深度报告：多技术并行，衬底切片

1）碳化硅切割设备方面：国内首款高线速碳化硅金刚线切片机 gcscdw6500可获得和砂浆切割相同的晶片质量，同时大幅提升切割效率，显著降低生产成本，行业内独家实现批量销售，实现国产替代，同时公司已推出适用于 8 寸碳化硅衬底切割的碳化硅金刚线切片机。购置生产设备及配套设施，建设半导体新材料研发及测试生产线。项目效果图华实半导体成立于2020年5月，公司经营范围包括：碳化硅衬底相关半导体材料的生产；多晶硅的生产；自动化装备的生产；碳化硅衬底相关半导体材料的销售；半导体设备的销售；智能产品的销售；碳化硅衬底相关半导体材料的研发等国内3个SiC项目公布新进展近日，国内有3个碳化硅

碳化硅功率器件的应用机会及未来电子工程专辑

2023年6月4日· 碳化硅功率器件的未来趋势是朝着尺寸缩小的方向发展。 5月17日，深圳市森国科科技股份有限公司董事长杨承围绕碳化硅功率器件、碳化硅器件的未来应用做了《碳化硅功率器件的应用机会及未来》的分享。碳化硅材料优势相对于第一代（硅基）半导体，第三代半导体禁带宽度大，电导率高、热2023年6月1日· 这些设备将用于生产碳化硅晶圆，以支持纬湃科技不断增长的业务需求。同时，作为智能电源和智能感知技术的领导者，安森美将继续大量投资于端纬湃科技和安森美签署碳化硅（SiC）长期供应协议

碳化硅功率器件的研发和产业化项目可行性研究报告

2023年5月25日· 项目名称：碳化硅功率器件的研发和产业化项目实施主体：广微集成技术（深圳）有限公司项目总投资：39,82400 万元本项目拟通过与晶圆代工厂共同投入资源合作建立碳化硅晶圆生产专项目建设内容线，主要从事面向新型能源供给的 600V1700V 碳化山东华恩新材料科技有限公司位于烟台栖霞桃村工业园，成立于2018年，投资15000万元，占地面积10000平方米，是一家专业生产碳化硼陶瓷制品及碳化硅一体陶瓷膜及其整套水处理设备的高新技术企业。公司拥有全产业碳化硅陶瓷膜碳化硼核电碳化硼山东华恩新材料

北上深成发布文件支持人工智能发展苹果正式发布

2023年6月3日· 芯科半导体是一家半导体功率芯片及器件研发商，公司聚焦第三代半导体碳化硅mosfet功率芯片及器件的研发、设计、制造与销售，拥有厚膜外延、高碳化硅的整个产业链：高纯碳粉/硅粉——碳化硅粉——碳化硅晶锭——碳化硅晶棒——碳化硅晶片——碳化硅衬底——外延——器件设计——器件制造。如果只看碳化硅衬底——外延——器件设计——器件制造这一阶段，碳化硅衬底占比47%，外延占比23%，器件设计+器件制造占比30%。下图只是用作参考，如今最为完整的布局和规划见下文的详解：碳化硅碳化硅产业链深度解析（全网最全独家）碳化硅产业

中金 | 碳化硅器件：百亿美元赛道，谱写后硅基IGBT

2022年6月30日· 问：对于当前机器和系统制造商向8英寸晶圆的转换，您有什么经验？目前有多少家生产8英寸SiC的设备制造商？ John Palmour：我们大约与6家设备制造商进行合作。一些企业专门为我们的工艺开发了特殊2022年12月15日· 国产厂商齐发力切磨抛设备除碳化硅长晶炉设备外，被日本高鸟占据80%以上份额的碳化硅切磨抛设备，成为了上机数控、宇晶股份、大族激光、高测股份等厂商向上突围的共同选择。今年11月，上机数控在官微表示，公司在碳化硅切割领域取得了较大突破，自行研发的碳化硅切片设备获得成功，开辟了“碳化硅设备国产替代进口”的先河。产业加速扩张之下，碳化硅设备成入局“香饽饽

国内3个SiC项目公布新进展近日，国内有3个碳化硅

购置生产设备及配套设施，建设半导体新材料研发及测试生产线。项目效果图华实半导体成立于2020年5月，公司经营范围包括：碳化硅衬底相关半导体材料的生产；多晶硅的生产；自动化装备的生产；碳化硅衬底相关半导体材料的销售；半导体设备的销售；智能产品的销售；碳化硅衬底相关半导体材料的研发等2022年3月23日· 近日，AIXTRON SE 宣布 Wolfspeed 将在其生产设施中采用 AIXTRON 公司的 200 毫米行星式反应器（Planetary Reactor）技术，用于制造基于碳化硅 (SiC) 的 MOSFET 和肖特基二极管功率器件。半导体行业沉积设备领先制造商AIXTRON SE 总裁兼首席执行官 Felix Grawert 博士表示：“碳化硅是下一代电源管理关键技术之一。它使我们Wolfspeed购买AIXTRON外延设备，推进全球首个200毫米

碳化硅功率器件的应用机会及未来电子工程专辑

碳化硅功率器件的研发和产业化项目可行性研究报告

2023年5月25日· 项目名称：碳化硅功率器件的研发和产业化项目实施主体：广微集成技术（深圳）有限公司项目总投资：39,82400 万元本项目拟通过与晶圆代工厂共同投入资源合作建立碳化硅晶圆生产专项目建设内容线，主要从事面向新型能源供给的 600V1700V 碳化2020年8月14日· 1 碳化硅陶瓷简介碳化硅主要有两种晶体结构，即立方晶系的β SiC和六方晶系的α SiC。 α SiC为高温稳定性，β SiC为低温稳定型。由于所含杂质不同，SiC有绿色、灰色和墨绿色几种。 2有没有能加工碳化硅陶瓷的加工厂？知乎